アルミニウムは、その特性から反射鏡、真空装置部品など、高光沢度及び高平滑性を必要とされる分野で広く使用されていますが、近年、急激な高品位化が進み、ナノレベルの精度が要求されるようになっています。

従来の機械研磨だけでは、表面の微細なカスや加工変質層などが問題となり、超精密部品に対する高光沢、高平滑な鏡面を得ることが困難です。

一方、電解研磨では硫酸、クロム酸などが一般的に使用されており、特に真空条件下での表面の微量な残留液による腐食性ガス、有害物質の発生が問題となることがあります。

電解複合研磨では、有害物質を含まない電解液で、微細なカス、加工変質層を生じずにナノレベルのアルミ鏡面仕上げ、鏡面化が可能です。

未処理と電解複合研磨後の表面粗さ比較